電解めっき法によるMEMS⽤⾦銅合⾦の作製及び機械的特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	電解めっき法によるMEMS⽤⾦銅合⾦の作製及び機械的特性評価
英文:

著者

和文:	TangHao-Chun, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, ⼭根⼤輔, 小西敏文, 町⽥克之, 益⼀哉, 曽根正⼈.
英文:	Hao-Chun Tang, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	応用物理学会第65回春季講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	応用物理学会第６５回春季講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: