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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of RF power on the properties of intrinsic hydrogenated amorphous silicon passivation layer deposited by facing target sputtering 
著者
和文: 白取 優大, ファリスアキラ ビンモハマドズルキフリ, 中田 和吉, 宮島 晋介.  
英文: Yuta Shiratori, Faris Akira Bin Mohd Zulkifly, Kazuyoshi Nakada, Shinsuke Miyajima.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Applied Physics Express 
巻, 号, ページ Vol. 11        031301
出版年月 2018年1月31日 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク http://iopscience.iop.org/article/10.7567/APEX.11.031301/meta
 
DOI http://dx.doi.org/10.7567/APEX.11.031301

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