【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
TFT応用に向けたRFマグネトロンスパッタリング法によるMoS2膜の形成
英文:
MoS2 Film Formation by RF Magnetron Sputtering for Thin Film Transistors
著者
和文:
大橋匠
.
英文:
Takumi Ohashi
.
種別
種別:
学位論文(博士)
国名:
Japan
言語
English
学位授与組織
Tokyo Institute of Technology
報告番号
甲第10864号
学位授与日
2018/03/26
審査員
©2007
Institute of Science Tokyo All rights reserved.