UV-LIGA technique by back UV exposure with self-alignment for ECF (electro-conjugate fluid) micropumps

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	UV-LIGA technique by back UV exposure with self-alignment for ECF (electro-conjugate fluid) micropumps

著者

和文:	HAN DONG, Yong Xia, 横田眞一, 金俊完.
英文:	Dong Han, Yong Xia, Shinichi Yokota, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Micromechanics and Microengineering

巻, 号, ページ

Volume 27 Number 12 Page 125008

出版年月

2017年10月30日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: