Study on the fabrication of a SU-8 cantilever vertically-allocated in a closed fluidic microchannel

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study on the fabrication of a SU-8 cantilever vertically-allocated in a closed fluidic microchannel

著者

和文:	Mao Zebing, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microsystem Technologies

巻, 号, ページ

Volume 24 No. 5 pp. 2473–2483

出版年月

2017年10月28日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI