Improving crystalline quality of sputtering-deposited MoS2 thin film by postdeposition sulfurization annealing using (t-C4H9)2S2

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improving crystalline quality of sputtering-deposited MoS2 thin film by postdeposition sulfurization annealing using (t-C4H9)2S2

著者

和文:	Y. Hibino, N. Sawamoto, K. Suda, 大橋匠, 松浦賢太朗, H. Machida, M. Ishikawa, H. Sudoh, 若林整, 小椋厚志.
英文:	Y. Hibino, N. Sawamoto, K. Suda, T. Ohashi, K. Matsuura, H. Machida, M. Ishikawa, H. Sudoh, H. Wakabayashi, A. Ogura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japan Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 55

出版年月

2016年

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

和文:
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