Enhanced Mechanical Strength of Ti-Au Bi-Layered Micro-Cantilever for MEMS Accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Enhanced Mechanical Strength of Ti-Au Bi-Layered Micro-Cantilever for MEMS Accelerometers

著者

和文:	Hashigata Ken, TangHao-Chun, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月17日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第64回応用物理学会春季学術講演会
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開催地

和文:	東京都
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