犠牲層を用いないSU-8構造体の剥離方法の提案

論文・著書情報

タイトル

和文:	犠牲層を用いないSU-8構造体の剥離方法の提案
英文:	Proposal of peeling method of SU-8 structures without using any sacrificial layer

著者

和文:	Mao Zebing, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Zebing MAO, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan kim.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第18回機素潤滑設計部門講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 18-6 pp. 183-184

出版年月

2018年4月22日

出版者

和文:	一般社団法人日本機械学会
英文:

会議名称

和文:	第18回機素潤滑設計部門講演会
英文:	The 18th. Machine Design and Tribology Division Meetin in JSME

開催地

和文:	山形県
英文:

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