Reliability Evaluation of Au-Cu Microcantilever by Long-Term Vibration Test toward MEMS Components

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Reliability Evaluation of Au-Cu Microcantilever by Long-Term Vibration Test toward MEMS Components

著者

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nano Engineering and Microsystem Technology Conference, Taiwan

巻, 号, ページ

出版年月

2018年6月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 2nd Taiwan-Japan Joint Symposium in Taiwan, by The study group of the Integrated MEMS of JSAP & Nano Engineering and Microsystem Technology Conference, Taiwan

開催地

和文:
英文:	Taipei