PHOTOLUMINESCENCE ASSESSMENT OF B, P, AND AL IN SI WAFERS - THE PROBLEM OF SAMPLE HEATING BY A LASER-BEAM

論文・著書情報

タイトル

和文:	PHOTOLUMINESCENCE ASSESSMENT OF B, P, AND AL IN SI WAFERS - THE PROBLEM OF SAMPLE HEATING BY A LASER-BEAM
英文:	PHOTOLUMINESCENCE ASSESSMENT OF B, P, AND AL IN SI WAFERS - THE PROBLEM OF SAMPLE HEATING BY A LASER-BEAM

著者

和文:	Pelant, I., VACHAMARTIN.
英文:	Pelant, I., Martin Vacha.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Journal of Applied Physics
英文:	Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 73 No. 7 pp. 3477-3481

出版年月

1993年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI