Effect of substrate type and temperature on the growth of thin Ru films by metal organic chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of substrate type and temperature on the growth of thin Ru films by metal organic chemical vapor deposition

著者

和文:	千葉洋一, 平野雅輝, 河野和久, Noriaki Oshima, 舟窪浩.
英文:	Hirokazu Chiba, Masaki Hirano, Kazuhisa Kawano, Noriaki Oshima, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science in Semiconductor Processing

巻, 号, ページ

vol. 70 pp. 73–77

出版年月

2017年11月

出版者

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会議名称

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開催地

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