Growth of (111)-oriented epitaxial magnesium silicide (Mg2Si) films on (001) Al2O3 substrates by RF magnetron sputtering and their properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of (111)-oriented epitaxial magnesium silicide (Mg2Si) films on (001) Al2O3 substrates by RF magnetron sputtering and their properties

著者

和文:	片桐淳生, 小川正太, 上原睦雄, P. S. Sankara Rama Krishnan, 黒川満央, 松島正明, 清水荘雄, 秋山賢輔, 舟窪浩.
英文:	Atsuo Katagiri, Shota Ogawa, Mutsuo Uehara, P. S. Sankara Rama Krishnan, Mao Kurokawa, Masaaki Matsushima, Takao Shimizu, Kensuke Akiyama, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Mater. Sic.

巻, 号, ページ

vol. 53 no. 7 pp. 5151-5158

出版年月

2018年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: