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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Reliability Characteristics of Ti/Au Micro-Cantilever by Long-Term Vibration Test 
著者
和文: 橘 航一朗, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 新田 京太朗, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 伊藤 浩之, 益 一哉, 曽根 正人.  
英文: Koichiro Tachibana, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Kyotaro Nitta, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:44rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2018) 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年9月24日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:44rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2018) 
開催地
和文:Copenhagen 
英文: 

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