Micro-Mechanical Properties of Defect-Free Nickel Electrodeposited at a High Growth Rate toward MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Micro-Mechanical Properties of Defect-Free Nickel Electrodeposited at a High Growth Rate toward MEMS Devices

著者

和文:	山本貴大, 井川健吾, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 名越貴志, 工藤緯, 前田龍, 曽根正人.
英文:	Takahiro Yamamoto, Kengo Igawa, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Osamu Kudo, Ryu Maeda, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	44rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2018)

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月24日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	44rd International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2018)

開催地

和文:	Copenhagen
英文: