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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Design of Au-Based Micro-Components with High Structure Stability for Applications in MEMS Inertial Sensors 
著者
和文: Chang Tso-Fu Mark, 陳 君怡, 石塚 陽大, 寺西 美波, 鈴木 拓真, 山根 大輔, 小西 敏文, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人.  
英文: Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Yota Ishizuka, Minami Teranishi, Takuma Suzuki, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Advances in Microelectronics Reviews 
巻, 号, ページ Vol. 2        pp. 23-48
出版年月 2019年2月7日 
出版者
和文: 
英文:IFSA Publishing 
会議名称
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開催地
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公式リンク https://www.sensorsportal.com/DOWNLOADS/Books/9788409081592.pdf
 

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