Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS-LSI集積化による小型高精度かつ高信頼性を指向した容量式センサ技術の研究 
英文: 
著者
和文: 藤森司.  
英文: Tsukasa Fujimori.  
種別
種別:学位論文(博士)審査の要旨 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号 甲第10667号 
学位授与日 2017/09/20 
審査員 杉野 暢彦, 小林 隆夫, 中村 健太郎, 黒澤 実, 伊藤 浩之.  
ファイル   

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.