Thickness-dependent phase stability of epitaxial ferroelectric HfO2-based films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness-dependent phase stability of epitaxial ferroelectric HfO2-based films

著者

和文:	三村和仙, 片山きりは, 清水荘雄, 木口賢紀, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Kiriha Katayama, Takao Shimizu, Takanori Kiguchi, Akihiro Akama, Toyohiko J. Konno, Osami Sakata, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年8月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	STAC-10 (The Tenth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics)

開催地

和文:
英文:	Yokohama