Au-ITO 複合配線を用いたUV 裏面露光による新たなUV-LIGA プロセスの提案

論文・著書情報

タイトル

和文:	Au-ITO 複合配線を用いたUV 裏面露光による新たなUV-LIGA プロセスの提案
英文:	Proposition of a novel UV-LIGA process by back UV exposure with Au-ITO composite wiring

著者

和文:	小川真史, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Masashi Ogawa, KAZUHIRO YOSHIDA, Joon-wan KIM.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会 2018年度年次大会DVD論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 18-1 J1120201

出版年月

2018年9月10日

出版者

和文:	一般社団法人日本機械学会
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会 2018年度年次大会
英文:	Mechanical Engineering Congress, 2018 Japan

開催地

和文:	大阪府吹田市
英文:

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