MOD 法により Si3N4/SiO2メンブレン上に製作したVOxマイクロボロメータの特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	MOD 法により Si3N4/SiO2メンブレン上に製作したVOxマイクロボロメータの特性評価
英文:	Evaluation of Characteristics in VOx Microbolometer Fabricated by MOD on Si3N4/SiO2 Membrane

著者

和文:	前田幸平, Van Nhu Hai, 西岡國生, 松谷晃宏, 立木隆, 内田貴司.
英文:	Kohei Maeda, Hai Van Nhu, Kunio Nishioka, Akihiro Matsutani, Takashi Tachiki, Takashi Uchida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌 A
英文:	IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials

巻, 号, ページ

Vol. 138 No. 9 pp. 471-477

出版年月

2018年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI