紫外エキシマ光／レーザー照射によるβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜の室温固相結晶化プロセスの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	紫外エキシマ光／レーザー照射によるβ-Ga₂O₃薄膜の室温固相結晶化プロセスの検討
英文:	Investigation of room temperature solid-phase crystallization process of β-Ga₂O₃ thin film by ultraviolet excimer lamp / laser irradiation

著者

和文:	大賀友瑛, 森田公之, 池谷侑紀, 土嶺信男, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Tomoaki Oga, Hiroyuki Morita, Yuki Ikeya, Nobuo Tsuchimine, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月5日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 79th JSAP Autumn Meeting, 2018

開催地

和文:	名古屋
英文:	Nagoya

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