Physicochemical Effect of Buffer Layer on β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Solid-Phase Epitaxy by Excimer Laser Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Physicochemical Effect of Buffer Layer on β-Ga₂O₃ Solid-Phase Epitaxy by Excimer Laser Annealing

著者

和文:	松田晃史, 中村稀星, 森田公之, 土嶺信男, 坂田修身, 金子智, 吉本護.
英文:	Akifumi Matsuda, Kisho Nakamura, Hiroyuki Morita, Nobuo Tsuchimine, Osami Sakata, Satoru Kaneko, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年6月27日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	60th Electronic Materials Conference

開催地

和文:
英文:	Santa Barbara

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