Nanoscale Surface Patterning of α-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Substrates by Way of Room-temperature Homoepitaxial Growth for Development of High-performance Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanoscale Surface Patterning of α-Al₂O₃ Substrates by Way of Room-temperature Homoepitaxial Growth for Development of High-performance Devices

著者

和文:	塩尻大士, 吉田彬, 井上直哉, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	daishi shiojiri, Akira Yoshida, Naoya Inoue, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年4月1日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	2013 MRS Spring Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	San Francisco

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