非晶質材料表面への天然素材を使ったナノインプリントパターニング

論文・著書情報

タイトル

和文:	非晶質材料表面への天然素材を使ったナノインプリントパターニング
英文:	Nanopatterning using natural material to amorphous substance materials surface by nanoimprint lithography

著者

和文:	井上直哉, 譚ゴオン, 大井秀雄, 三田正弘, 奥田徳路, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Naoya Inoue, Geng Tan, Hideo Oi, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2013年3月27日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 60th JSAP Spring Meeting, 2013

開催地

和文:	厚木
英文:	Atsugi

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