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論文・著書情報


タイトル
和文:ECR-MBE法で作製したSi基板上GaN薄膜(t<200nm)の高品質化への試み ―作製プロセスの見直しとその検討― 
英文:Technical trial into higher crystalline quality of GaN films grown on Si substrates by ECR-MBE under reduced plasma damage -reconsideration of growth process and examination- 
著者
和文: 淀徳男, 井上直哉, 塩尻大士, 譚ゴオン, 熊谷典子, 松田晃史, 吉本護.  
英文: Tokuo Yodo, Naoya Inoue, daishi shiojiri, Geng Tan, Noriko Kumagai, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年3月27日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2013年 第60回 応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 60th JSAP Spring Meeting, 2013 
開催地
和文:厚木 
英文:Atsugi 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2013s/top?lang=ja
 

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