A Novel Hybrid Removal Technology for High-Aspect-Ratio SU-8 Micromolds in ECF (Electro-Conjugate Fluid) Micropumps Fabrication by UV-LIGA

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Novel Hybrid Removal Technology for High-Aspect-Ratio SU-8 Micromolds in ECF (Electro-Conjugate Fluid) Micropumps Fabrication by UV-LIGA

著者

和文:	韓冬, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Dong Han, Kazuhiro Yoshida, Joon-Wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Microelectromechanical Systems

巻, 号, ページ

Vol. 27 No. 5 pp. 818-826

出版年月

2018年8月29日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI