Fast bonding technology by using partially-crosslinked SU-8 for MEMS-fabricated actuators and sensors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fast bonding technology by using partially-crosslinked SU-8 for MEMS-fabricated actuators and sensors

著者

和文:	Mao Zebing, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018)

巻, 号, ページ

p. 54

出版年月

2018年9月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018)

開催地

和文:	神戸
英文:

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