Development of MEMS-fabricated Bidirectional ECF micropump

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of MEMS-fabricated Bidirectional ECF micropump

著者

和文:	松原竜也, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Tatsuya Matsubara, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018)

巻, 号, ページ

p. 81

出版年月

2018年9月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018)

開催地

和文:	兵庫県神戸市
英文:

公式リンク