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論文・著書情報


タイトル
和文:反応性マグネトロンスパッタ法を用いたYH2エピタキシャル薄膜の配向制御 
英文: 
著者
和文: 小松 遊矢, 清水 亮太, 笹原 悠輝, 西尾 和記, 大口 裕之, 折茂 慎一, 一杉 太郎.  
英文: Yuya Komatsu, Ryota Shimizu, Yuki Sasahara, Kazunori Nishio, 大口 裕之, 折茂 慎一, Taro Hitosugi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月 
出版者
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会議名称
和文:第65回応用物理学会春季学術講演会 
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開催地
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