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論文・著書情報
タイトル
和文:
反応性マグネトロンスパッタ法を用いたYH2エピタキシャル薄膜の配向制御
英文:
著者
和文:
小松 遊矢
,
清水 亮太
,
笹原 悠輝
,
西尾 和記
, 大口 裕之, 折茂 慎一,
一杉 太郎
.
英文:
Yuya Komatsu
,
Ryota Shimizu
,
Yuki Sasahara
,
Kazunori Nishio
, 大口 裕之, 折茂 慎一,
Taro Hitosugi
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2018年3月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第65回応用物理学会春季学術講演会
英文:
開催地
和文:
英文:
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