1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	1軸MEMS加速度センサのAu錘厚膜化による高性能化の検討
英文:

著者

和文:	古賀達也, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Sayaka Koga, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年10月30日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム（センサ・マイクロマシン部門大会）
英文:

開催地

和文:	北海道
英文:

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