シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ

論文・著書情報

タイトル

和文:	シングルAu錘と分割電極容量検出(SCD)方式を用いた3軸全差動MEMS加速度センサ
英文:

著者

和文:	乙部翔太, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 飯田慎一, 伊藤浩之, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Shouta Otobe, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年10月30日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第10回集積化MEMSシンポジウム
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開催地

和文:	北海道
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