Humidity dependence of electrostatic pick-and-place operation of a micro dielectric particle considering surface conductivity and capillary condensation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Humidity dependence of electrostatic pick-and-place operation of a micro dielectric particle considering surface conductivity and capillary condensation

著者

和文:	藤原亮, 井口洋二, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Ryo Fujiwara, Yoji Iguchi, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 124 No. 6 pp. 064303

出版年月

2018年8月14日

出版者

和文:
英文:	AIP Publishing

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: