Matrix and element dependences of useful yield in Si and SiO2 matrices using laser-ionization sputtered neutral mass spectrometry

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Matrix and element dependences of useful yield in Si and SiO2 matrices using laser-ionization sputtered neutral mass spectrometry

著者

和文:	Reiko Saito, 圷晴子, Jun Asakawa, Shiro Takeno, Kei Kiyokawa, Satoru Nagashima, Takeharu Ishikawa, Takahiro Kashiwagi, Akio Takano, Tetsuo Sakamoto, 藤井正明.
英文:	Reiko Saito, * Haruko Akutsu, Jun Asakawa, Shiro Takeno, Kei Kiyokawa, Satoru Nagashima, Takeharu Ishikawa, Takahiro Kashiwagi, Akio Takano, Tetsuo Sakamoto, Masaaki Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena

巻, 号, ページ

36 3 03F128

出版年月

2018年5月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
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