Direct detection of grain boundary scattering in damascene Cu wires by nanoscale four-point probe resistance measurements

論文・著書情報

タイトル

和文:	Direct detection of grain boundary scattering in damascene Cu wires by nanoscale four-point probe resistance measurements
英文:	Direct detection of grain boundary scattering in damascene Cu wires by nanoscale four-point probe resistance measurements

著者

和文:	Kitaoka, Y, Tono, T, Yoshimoto, S, Hirahara, T, Hasegawa, S, Ohba, T, 平原徹.
英文:	Kitaoka, Y, Tono, T, Yoshimoto, S, Hirahara, T, Hasegawa, S, Ohba, T, Toru Hirahara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Applied Physics Letters
英文:	Applied Physics Letters

巻, 号, ページ

Vol. 95 No. 5

出版年月

2009年

出版者

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会議名称

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開催地

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