Microfabrication of Si-based Concave Micromirror Array for Microbial Cell Trapping by XeF2 Vapor Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Microfabrication of Si-based Concave Micromirror Array for Microbial Cell Trapping by XeF2 Vapor Etching

著者

和文:	松谷晃宏, 佐藤美那, 長谷部浩一, 高田綾子.
英文:	Akihiro Matsutani, Mina Sato, KOICHI HASEBE, Ayako Takada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

16P-11-43

出版年月

2018年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNC 2018, 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference

開催地

和文:
英文:	Sapporo