Research on the Protrusion Problem in the Bonding Process of Free-standing SU-8 Microstructure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Research on the Protrusion Problem in the Bonding Process of Free-standing SU-8 Microstructure

著者

和文:	Mao Zebing, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Zebing Mao, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan KIM.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Symposium on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2018) Program&Proceedings

巻, 号, ページ

p. OP010

出版年月

2018年7月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Symposium on Precision Engineering and Sustainable Manufacturing(PRESM2018)

開催地

和文:	札幌市
英文:	Sapporo

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