Design and performance of pi-type thin-film nano-teg using vacuum/sio2-hybrid insulation module structure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Design and performance of pi-type thin-film nano-teg using vacuum/sio2-hybrid insulation module structure

著者

和文:	清野稔仁, 千脇那菜, 山下涼音, 菅原聡.
英文:	T. Seino, N. Chiwaki, S. Yamashita, S. Sugahara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月18日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference 2018 (EDTM2018)

開催地

和文:
英文:	Kobe