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論文・著書情報


タイトル
和文:反応性マグネトロンスパッタ法を用いた単相TiH2薄膜のエピタキシャル成長 
英文: 
著者
和文: 清水 亮太, 笹原 悠輝, 山本 邦子, 大口 裕之, 白木 将, 折茂 慎一, 一杉 太郎.  
英文: Ryota Shimizu, Yuki Sasahara, Kuniko Yamamoto, Hiroyuki Oguchi, Susumu Shiraki, Shinichi Orimo, Taro Hitosugi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2016年9月 
出版者
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会議名称
和文:第77回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
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