Long-Term Structure Stability of Ti/Au Layered Micro-Cantilever Evaluated by Vibration Test

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Long-Term Structure Stability of Ti/Au Layered Micro-Cantilever Evaluated by Vibration Test

著者

和文:	橘航一朗, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Koichiro Tachibana, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering

巻, 号, ページ

Volume 207 pp. 33-36

出版年月

2019年1月28日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI