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論文・著書情報


タイトル
和文:大気圧非平衡プラズマの電子エネルギー分布関数の発光分光法による測定の可能性 
英文:Possibility of OES Measurement of Electron Energy Distribution Function of Atmospheric-Pressure Non-Equilibrium Plasma 
著者
和文: 赤塚 洋, 大西 広, ヴァン•デル•ハーク タイス, 根津 篤.  
英文: Hiroshi Akatsuka, Hiroshi Onishi, Thijs van der Gaag, Atsushi Nezu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第36 回 プラズマプロセシング研究会/ 第31 回 プラズマ材料科学シンポジウム プロシーディングス 
英文:Proceedings of 36th Symposium on Plasma Processing (SPP36) / The 31th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM31) 
巻, 号, ページ         pp. 64-65
出版年月 2019年1月15日 
出版者
和文:SPP36/SPSM31実行委員会 
英文:Executive Committee of SPP36/SPSM31 
会議名称
和文:第36 回 プラズマプロセシング研究会/ 第31 回 プラズマ材料科学シンポジウム 
英文:36th Symposium on Plasma Processing (SPP36) / The 31th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM31) 
開催地
和文:高知 
英文:Kochi 
公式リンク http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/SPP36/SPP36SPSM31_program1225_OralPoster.pdf
 
アブストラクト Possibility of measurement of electron energy distribution function (EEDF) of atmospheric-pressure nonequilibrium plasma is discussed. The continuum spectrum from the plasma due to bremsstrahlung of electrons against neutral particles is formulated on its wavelength dependence. As a case study, the continuum emission spectra are shown for Maxwellian EEDF and for Druyvesteynian EEDF. After that, as a reversal problem, the possibility to determine the EEDF is formulated by applying the continuum spectrum emitted from the atmospheric-pressure non-equilibrium plasmas. It is shown that the EEDF is found as a solution to a Volterra integral equation of the first kind for the emission spectrum observed experimentally.

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