Proposal on an effective removing method of micromolds in UVLIGA by combining CO2 laser engraving with O2/CF4 plasma etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Proposal on an effective removing method of micromolds in UVLIGA by combining CO2 laser engraving with O2/CF4 plasma etching

著者

和文:	韓冬, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Dong Han, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ICMT2018 Conference Program (USB)

巻, 号, ページ

Session 15 Paper ID 60 pp. 1-2

出版年月

2018年10月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	22nd International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2018)

開催地

和文:
英文:	Jeju Island

公式リンク