電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	電気めっき法によるAu-Cu合金微小カンチレバーの作製
英文:

著者

和文:	新田京太朗, Tang Haochun, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 伊藤浩之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Kyotaro Nitta, Tang Haochun, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年3月9日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第66回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京都
英文: