Film Thickness Dependence of Electrical Properties for Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared on (111)Ir/TiO2/SiO2/Si and (111)Pt/TiO2/SiO2/Si Substrates by Pulsed-Metalorganic Chemical Vapor Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Film Thickness Dependence of Electrical Properties for Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Prepared on (111)Ir/TiO2/SiO2/Si and (111)Pt/TiO2/SiO2/Si Substrates by Pulsed-Metalorganic Chemical Vapor Deposition

著者

和文:	Takahiro Oikawa, 舟窪浩, 森岡仁, Keisuke Saito.
英文:	Takahiro Oikawa, Hiroshi Funakubo, Hitoshi Morioka, Keisuke Saito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Integ. Ferro.,

巻, 号, ページ

Vol. 59 pp. 1421-1428

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: