集合梁構造により表面柔軟性を有する双極型静電吸着デザイスの大面積化 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	集合梁構造により表面柔軟性を有する双極型静電吸着デザイスの大面積化
英文:

著者

和文:	林輝道, HEMTHAVYPASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Terumichi Hayashi, PASOMPHONE HEMTHAVY, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2019年度精密工学会春季大会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

p. 30

出版年月

2019年3月13日

出版者

和文:	公益社団法人精密工学会
英文:

会議名称

和文:	2019年度精密工学会春季大会
英文:

開催地

和文:	東京
英文:

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