微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細毛構造を有するシリコン双極型静電チャックの接触面の平滑さと微細毛長が静電力に与える影響
英文:

著者

和文:	河鰭康平, HEMTHAVYPASOMPHONE, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Kohei Kawabata, PASOMPHONE HEMTHAVY, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会第9回マイクロ・ナノシンポジウム講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年10月30日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」
英文:

開催地

和文:	札幌
英文: