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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Cu-Alloying Effect on Structure Stability of Electrodeposited Gold-Based Micro-Cantilever Evaluated by Long-Term Vibration Test 
著者
和文: 新田 京太朗, Chang Tso-Fu Mark, 橘 航一朗, Tang Hao-Chun, 陳 君怡, 飯田 慎一, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人.  
英文: Kyotaro Nitta, Tso-Fu Mark Chang, Koichiro Tachibana, Hao-chun Tang, Chun-Yi Chen, Shinichi Iida, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronic Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 215        pp. 111001
出版年月 2019年5月20日 
出版者
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会議名称
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開催地
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