Development of MEMS-fabricated Bidirectional ECF (Electro-Conjugate Fluid) micropumps

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of MEMS-fabricated Bidirectional ECF (Electro-Conjugate Fluid) micropumps

著者

和文:	松原竜也, HUYNH HOANG HUY, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	Tatsuya Matsubara, Huy Hoang Huynh, Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A: Physical

巻, 号, ページ

Vol. 295 No. 15 pp. 317-323

出版年月

2019年6月13日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI