Surface cleaning and pure nitridation of GaSb by in-situ plasma processing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface cleaning and pure nitridation of GaSb by in-situ plasma processing

著者

和文:	後藤高寛, Sachie Fujikawa, Hiroki Fujishiro, Mutsuo Ogura, W. H. Chang, Tetsuji Yasuda, Tatsuro Maeda.
英文:	Takahiro Gotow, Sachie Fujikawa, Hiroki Fujishiro, Mutsuo Ogura, W. H. Chang, Tetsuji Yasuda, Tatsuro Maeda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	AIP Advances

巻, 号, ページ

7 105117

出版年月

2017年10月27日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI