Demonstration of Ni-GaSb metal S/D GaSb pMOSFETs with vacuum annealing on GaAs substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Demonstration of Ni-GaSb metal S/D GaSb pMOSFETs with vacuum annealing on GaAs substrates

著者

和文:	後藤高寛, Sachie Fujikawa, Hiroki Fujishiro, Mutsuo Ogura, Tetsuji Yasuda, Tatsuro Maeda.
英文:	Takahiro Gotow, Sachie Fujikawa, Hiroki Fujishiro, Mutsuo Ogura, Tetsuji Yasuda, Tatsuro Maeda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2013年12月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	44th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC)

開催地

和文:
英文:	Arlington, VA