A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A MEMS Accelerometer for Sub-mG Sensing

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 年吉洋, 曽根正人, 町田克之, 伊藤浩之, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Materials

巻, 号, ページ

Vol. 31 no. 9 pp. 2883-2894

出版年月

2019年7月23日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI