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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Potential of MISFET with HfN gate dielectric formed by ECR plasma sputtering 
著者
和文: Han, H.S., Han, D.H., 大見俊一郎.  
英文: Han, H.S., Han, D.H., Shun-ichiro OHMI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Electronics Letters 
巻, 号, ページ Vol. 49    No. 7    pp. 493-495
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1049/el.2013.0319

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